Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок
View/
Date: 2019-11-06
Citation
Способ контроля структурного состояния алмазоподобных тонких пленок : RU 2723893 C1 : МПК H01L 21/66 (2006.01), B82Y 35/00 (2011.01) / С. В. Макаров, В. А. Плотников; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2019135735; заявл. 06.11.2019; опубл. 18.06.2020, Бюл. № 17. - 8 с.
Abstract
Изобретение относится к технологии производства тонких алмазных пленок и может быть использовано для оперативного контроля ее структурного состояния (распределения sp2 и sp3 связей).