Способ измерения электропроводности тонких металлических пленок
Открыть
Дата: 2019-01-10
Выходные сведения
Способ измерения электропроводности тонких металлических пленок: RU 2697473 C1: МПК G01N 27/90 (2006.01), G01R 27/02 (2006.01) / А. В. Ишков, С. Ф. Дмитриев, В. Н. Маликов, А. О. Катасонов; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2019100657; заявл. 10.01.2019; опубл. 14.08.2019, Бюл. № 23. - 9 с.
Аннотация
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может применяться для бесконтактного измерения удельной электрической проводимости тонких металлических пленок толщиной от 0,05 до 5 мкм. Актуальность данного изобретения обусловлена необходимостью оперативного и точного контроля электромагнитных параметров материалов в процессе их
производства и эксплуатации.