Способ получения тонких алмазных пленок

Плотников, Владимир Александрович; Макаров, Сергей Викторович; Макрушина, Анна Николаевна; Зырянова, Анастасия Игоревна; Шуткин, Алексей Александрович

Открыть

2685665.pdf

Дата: 2017-11-17

Автор

Плотников, Владимир Александрович

Макаров, Сергей Викторович

Макрушина, Анна Николаевна

Зырянова, Анастасия Игоревна

Шуткин, Алексей Александрович

Выходные сведения

Способ получения тонких алмазных пленок: RU 2685665 C1: МПК C23C 14/28 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), C30B 23/06 (2006.01), C30B 28/12 (2006.01), C30B 30/00 (2006.01), C30B 29/04 (2006.01), C01B 32/26 (2017.01), B82B 3/00 (2006.01), B82Y 30/00 (2011.01), B82Y 40/00 (2011.01) / В. А. Плотников, С. В. Макаров, А. Н. Макрушина [и др.]; патентообладатель Алтайский государственный университет. - № 2017141896; заявл. 17.11.2017; опубл. 22.04.2019, Бюл. № 12. - 20 с.

Аннотация

Изобретение относится к способу получения тонких алмазных пленок и может быть использовано в различных областях промышленности и науки для получения тонкопленочных упрочняющих покрытий и активных слоев тонкопленочных наноструктур.

URI: http://elibrary.asu.ru/handle/asu/8626

Метаданные

Показать полную информацию

Располагается в коллекциях

Изобретения